【光调制平衡电光检测原理及实验研究】陈占国.pdf

吉林人学硕士论文光调制平衡电光检测原理及实验研究 TIHEORYANDEXPERINENTAI.STUDYOFMODULATEDPROBEBEAM BALANCEDELECTRO-OPTICDETECTION 陈占国指导救师:贾刚副教授专业:半导体物理与半导体器件物理一九九七年六月

吉林大学硕士论文目录第一章前言第二章调制光平衡电光检测原理 82线性电光调制原理S2 平衡检测基本原理 10 S2 调制光平衡电光检测原理 11 第三章实验系统设计 15 S3光电探测器的特性曲线,S3 光电探测器平衡检测模式:18 S3 变压器耦合偏置模式 S3 互阻抗放大器偏置模式 19 S3 前置放大器偏置模式.20 S3调制光平衡电光检测系统,S3透射式光路系统,21 S3反射式光路系统.

吉林大学硕士论文第一章引言随着电子器件,特别是集成电路的迅猛发展,人们对器件测试手段的要求越来越高。-方面适应高集成度的要求,测试技术的空间分辨率必须足够高。目前,光刻技术的水平已经达到亚微米的量级,这也就要求测试技术的空间分辨率也处于这一亚微米量级,甚至更小.另一方面,适应高速器件的带宽要求,测试技术的时间分辨率必须足够高。例如,目前以ⅢI-V族半导体材料为衬底的单片集成微波电路(MM1Cs)的带宽已达100GIIz以上,以硅为衬底的MMICs,其带宽已达90GHlz以上,这已超出了传统的电子仪器测量系统的带宽范围。