【钛与碳化硅界面结构的高分子辨电子显微镜研究】滕振宇.pdf

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钛与碳化硅界面结构的高分辨电子显微镜研究 The Interface Structure Analysis of Ti/SiC by HREM 滕振宇 专业:凝聚态物理 导师:王煜明 教授 单凤兰副教授 一九九五年六月吉林大学硕士学位论文 目录 第一章绪论1高分辨电子显微学概述 1高分辨电子显微学在材料科学中的应用举例6 1 高分辨电子显微学的最新进展第二章 高分辨电子显微学基本理论2 HREM产生原子象的机制:2 高分辨象的分析及模拟:2 高分辩成象理论:笔三章 样品制备及性能讨论:33 3 Ti/SiC复合材料界面样品的制备:33 3 Ti/SiC复合材料的性能:3Ti/SiC的HREM样品制备,.吉林大学硕士学位论文 1.高分辨象的定量分析 用象模拟来确定高分辨象的结构信息,是一个很重要的手 段,半定量地比较实验原子象与象模拟就可以删除许多假定的 结构模型。确定原子列的位置,并且要得到一列原子内的平均 位势,而设计的模型中可以有二种或更多类的原子可以占据这 一列与实验结果相符,这时定性地描述原子象是不充分的。由 于高分辨象分辨率的提高,并且可以用数字信号记录并处理信 息,因原子的数目或种类不同造成散射强度的问题是通过象平 面强度的准确测量来确定原子散射强度.半导体材料如 GaAs/AlGaAs,Si/GeSi及Si/α-Si0等确定其原子占据位置十 分重要。
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