【低压化学气相沉积金刚石薄膜的理论研究】董夏兰.pdf

inef-kor-46 分类号:0643 密级:内部低压化学气相沉积金刚石薄膜的理论研究指导教师:孙家鐘教授工作单位:吉林大学理论化学研究所作老:董夏兰专业名称:物理化学论文答辩口期:-九九六年月山授予学位口期:一九九六年月答辩委员会主席:论文评阅人

Ⅱ 吉林大学博士学位论文提要 3.在CVD金刚石薄膜典型条件下,气相氢原子与非自由基气相碳氢化物中或者衬底表面上的不饱和碳不会发生加成反应(简称为氢原子不加成机制)二、气相-表面相互作用针对目前机理研究中遇到的表面生长前驱脱附速率值偏高的问题,本文根据石墨和金刚石共生的实验事实、气相氢原子与石墨相互作用的实验规律以及氢原子不加成机制,建议了非定域化表面生长前驱(delocalizedsurfacegrowthprecusor)。

吉林大学博士学位论文上!录目录第一章引言 1 金刚石及其薄膜的合成和应用S 1 低压CVD金刚石薄膜技术对理论研究的需求.S 1 理论研究的历史、现状和存在的问题分析本文的研究方向与主要贡献参考文献.第二章计算方法和原理S 2引言量子化学方法的应用2热力学量的统计力学计算S 2化学反应动力学分析参考文献第三章低压CVD金刚石薄膜的气相环境研究.S 3 引言S 3.