[氯化物UPE法外延生长INPGAAS特性的研究]张宝林

【氯化物UPE法外延生长INPGAAS特性的研究】张宝林.pdf专业:单与体物理与制丹 体:浙宝郴 指导效师:刘明登数授一一 要 InPGaA:异质结构复合材料在光电集成和微波器件的应用方面具 有广泛的前景,我们采用氯化物VPE法研究了这种异质结构的生长特 性,通过采用周态InP源和混合源(InP固态源+In饱合源)调整了外延 层中InP比值:生长出近化学计量比和富P的InP外延层。在向
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