【基於MEMS的集成气敏传感器设计】.pdf

致谢本论文的完成使我的硕士研究生期间的工作有可能作一个较系统的总结,这段学习和科研的生活中,对我各方面都给予关怀和帮其中有我的导师王平付教授,他的悉心教导和指正,是本论文得以顺利完成的重要保证。另外,在我从事课题研究和实验中,功率器件研究所所长朱大中教授,信电系的王跃林教授均给予了理论除此之外,还得到许多老师和同学的帮助,在此一并表示谢意.没有来自多方面的关怀和帮助,本论文的完成是不可想象的.与实践方面的指导,并在很多方面给予了帮助.本论文受国家自然科学基金资助助的有我的老师和众多同学。

摘要本论文所涉及的范围有MEMS的研制,及集成气敏传感器的研制,这两个方向在当前都处于迅速发展的阶段,MEMS的加工手段层出不穷,其应用领域也日见扩大,可以预见在以后会有更多的系统进人实用阶段,这无论对人的生活还是对技术本身都是一种极有意义的革命.而传感器的集成化和智能化也是随着信息产业,电子工业的迅速发展而发展的.它对改进现有系统,拓广传感器本身的这两者的共同特点是依靠半导体加工的工艺,从这点出发,本论文在前面部分介绍了传统的半导体工艺,这些工艺原来一直是用于半导体集成电路的,现在的加工中也涉及到。

浙江大学硕士论文绪言半导体技术经历了六七十年代的飞速发展,时至今日,已经到了一个很高的阶段,超大规模集成电路也已经到了电子器件的极限,由此而带动的信息技术的发展,更是一日千里,令人有应接不暇之感,尤其是电子计算机的发展,更是令人耳自一新,PC系列机器的普及应用深刻地改变着我们的生活、思想观念,计算机也在某种程度上成了无限可能的东西。这标志着信息时代的到来。正如,无疑,信息处理能力的极大提高是令人鼓舞的,但是,根据朴素的哲学观点来看,高度发展的处理能力只有和大量需要处理的信息相匹配时,才能显示其强大的威力,否则是浪费和没有必要。