【喷动流化床生产多晶硅的基础研究喷动流化床的出料规律】.pdf
浙江大学颐士学位论文(g/min(1/s) U:llm:摘要 在300的喷动流化床中用砂子作填充粒子,用空气作喷动气和流化气,考察了各种操作参数(包括流化气速,喷动气速,静床高,大粒子浓度以及锥 形分布板开孔率)对大粒子自喷动气入口分离下料的影响。研究结果表明,引起大粒子分离下料的原因有两个:射流气泡破裂引-起床层波动而造成脉 冲的颗粒团的下料和粒子沿分布板运动造成的连续分散颗粒的下料。根据 这个现象,提出了在直管分离段(喷动气入口)中粒子分离模型:=xKp 14exD(1Z1 Uf+0.
6*44 49 3 浙江大学硕士学位论文 录目 S2多晶硅生产中采用的流化床结构研究研究 52工业生产中实现流化床生产多晶硅的实例 52.了流化床与传统钟罩型反应器生产多品硅的比较 S2.了流化床在处理粗大颗粒体系的困难 2喷动流化床内喷动气入口下料的研究 预备实验及实验方法的确立 喷动流化床中粒子自直管分离段分离的原因 喷动气速s对下料的影响 流化气速Uf对下料的影响 2多晶硅的生产工艺 2半导体硅的生产过程 52多晶硅的生产现状 S2流化床制多晶硅的研究进展 52.
浙江大学硕士学位论文 国内工艺(传统西门子法)6-820-50(米)400-500(kwh) 550-650(kwh)17kg 前言 近年来,由于各种电子仪表、器件的需求大量提高,半导体工业发展迅 在国外如美、日等,为适应市场需求,一方面改进原有工艺,另一方面 新硅烷法 1 0 0(米)100(kwh) 120(kwh) 0<1 速。硅作为半导体材料中的一大类,在半导体工业中占据着相当重要的地 位,硅的生产特别是多晶硅的生产状况将直接影响到半导体工业的发展。[wshop_paid show_buy_btn="true"]