【光学薄膜宽波段实时智能监控及光学特性测试系统研究】.pdf

致谢本论文是在唐晋发教授和顾培夫教授的精心指导下完成的。在整个课题的选题、方案的确定、实验和论文的撰写,以及平时学习、五作和生活上,自始至终得到导师的大力支持、帮助和真诚的关怀,使我能顺利完成博士论文,并使我在学识和能力上都得到了长足的进步.特别是他们那种严谨的治学态度,诚恳正直的为人始终是我学习的楷模。在此,谨向他们致以诚挚的感谢和深深的敬意！在研究互作中,刘旭副教投给予了许多有益的指教和热心的帮助,对此表示真诚的谢意！RT一I型光谱仪的光学系统和机械系统的设计分别得到了余安喜高五和王仁善高互的有益帮助,在此表示感谢！

透过率、反射率和光学总损耗.根据测量值还可以给出薄膜的光学常数、膜层厚度及折射率的非均匀性。本文首先对以往的光度计设计的优缺点进行分析,在克服以往设计不足的基础上,阐明了我们的设计思想。然后从光学系统、机械系统以及仪器自动化等几个方面详细论述了该装置的设计特点。最后,对测试系统的误差进行分析和讨论,并对仪器测试精度进行了校核。该成果于1992年鉴定,主要技术指标为:波长定位精度优于0nm,测试重复性可达10-量级,透、反射率的测试精度分别优于0 和0。

thesensitivity ofmerit function and the accuracy of monitoring systembyselectingmostsensitive wavelengthsand appropriate weight factors is discussed.A method,based on performancemeasurementsduringthemonitoringofthelayer refractiveindex and thickness of thelayerinuacuo.