[光学薄膜宽波段实时智能监控及光学特性测试系统研究]

【光学薄膜宽波段实时智能监控及光学特性测试系统研究】.pdf致谢 本论文是在唐晋发教授和顾培夫教授的精心指导下完成的。在整 个课题的选题、方案的确定、实验和论文的撰写,以及平时学习、五 作和生活上,自始至终得到导师的大力支持、帮助和真诚的关怀,使 我能顺利完成博士论文,并使我在学识和能力上都得到了长足的进步.特别是他们那种严谨的治学态度,诚恳正直的为人始终是我学习的楷 模。在此,谨向他们致以诚挚的感谢和深深的敬意！在研究互作中,刘旭副教投给予了许多有益的指教和热心的帮助,对此表示真诚的谢意！RT一I型光谱仪的光学系统和机械系统的设计分别得到了余安喜 高五和王仁善高互的有益帮助,在此表示感谢！透过率、反射率和光学总损耗.根据测量值还可以给出薄膜的光学常 数、膜层厚度及折射率的非均匀性。本文首先对以往的光度计设计的 优缺点进行分析,在克服以往设计不足的基础上,阐明了我们的设计 思想。然后从光学系统、机械系统以及仪器自动化等几个方面详细论 述了该装置的设计特点。最后,对测试系统的误差进行分析和讨论,并对仪器测试精度进行了校核。该成果于1992年鉴定,主要技术指标 为:波长定位精度优于0nm,测试重复性可达10-量级,透、反射率 的测试精度分别优于0 和0。thesensitivity ofmerit function and the accuracy of monitoring systembyselectingmostsensitive wavelengthsand appropriate weight factors is discussed.A method,based on performancemeasurementsduringthemonitoringofthelayer refractiveindex and thickness of thelayerinuacuo.
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