【极坐标式激光微细加工系统的探讨研究】.pdf

浙江大学硕士学位论文摘要本文探讨研究了一种适合于产生环状微图形,特别是适合于制造二元微透镜列阵的极坐标式激光微细加互系统.本文所讨论的方法,是着眼于制造二元器件的通用方法,并把微透镜阵列作为一个特例来研究的.二元光学作为光学领域的一个前沿课题,已在国际光学界引起关注。我国在此领域方兴未艾。特别是采用激光微细加互的方法制造二元器件的掩模,是国际光学界在探讨研究制造二元光学器件专用设备的一个方向,在我国还属首次。它将有力地促进我国光学行业的发展,为我国跟踪国际光学发展新动态,并有朝一日使我国成为光学强国创造条件.该系统包括三个部分:光源系统,调焦系统,和精密五作台。

浙江大学硕士学位论文目录前言第一章综述 1-1 二元位相光栅的制造原理及加互过程 1-2 二元光学掩膜的技术要求 1-3 系统方案第二章激光写入设备整体概述 2-1 激光写入设备互作原理 2-2 激光图形发生器的系统结构第三章光点位置控制 3-1 自动调焦 3-2 径向位置控制第四章光强控制 S4-1 光刻胶 4-2 影响曝光量的因素 S4-3 光强调节系统的设计 S4-4 光强控制系统中主要元件的选择 4-5 系统实验结果第五章整机控制 6-1 系统操作过程 5-2 程序存贮器及数据存贮器 5-3 显示功能 5-4 键盘 5-5 打印 5-6 A/D及D/A转换 5

浙江大学硕士学位论文 X.0=arctan d(F/*) 式中d和F/*分别是透镜的口径和速度,如果在传统的球面折射系统中,大的偏转角必然带来大的波象差和透镜位移量。而用微透镜阵列互补对取代一般光学透镜对会带来两个很大的点:第一大大地减小透镜位移量只是微透镜口径的量级,并与入射光束口径无关.第二由于微透镜位相剖面可以设计最优化(如取抛物面相位剖面)以消除光束偏转方向的轴外波差。在国外,该扫描器的各参数性能如下:微透镜直径为200μm,焦距为990μm,相位级数为8,衍射效率为95 ,每个阵列包含约60000个微透镜,扫描视场角为11°,扫描速率为 35hz。