[极坐标式激光微细加工系统的探讨研究]

【极坐标式激光微细加工系统的探讨研究】.pdf浙江大学硕士学位论文 摘要 本文探讨研究了一种适合于产生环状微图形,特别是适合于制造 二元微透镜列阵的极坐标式激光微细加互系统.本文所讨论的方法,是着眼于制造二元器件的通用方法,并把微 透镜阵列作为一个特例来研究的.二元光学作为光学领域的一个前沿课题,已在国际光学界引起关 注。我国在此领域方兴未艾。特别是采用激光微细加互的方法制造二元器件的掩模,是国际光学界在探讨研究制造二元光学器件专用设备 的一个方向,在我国还属首次。它将有力地促进我国光学行业的发展,为我国跟踪国际光学发展新动态,并有朝一日使我国成为光学强国创 造条件.该系统包括三个部分:光源系统,调焦系统,和精密五作台。浙江大学硕士学位论文 目录 前言 第一章 综述 1-1 二元位相光栅的制造原理及加互过程 1-2 二元光学掩膜的技术要求 1-3 系统方案 第二章 激光写入设备整体概述 2-1 激光写入设备互作原理 2-2 激光图形发生器的系统结构 第三章 光点位置控制 3-1 自动调焦 3-2 径向位置控制 第四章 光强控制 S4-1 光刻胶 4-2 影响曝光量的因素 S4-3 光强调节系统的设计 S4-4 光强控制系统中主要元件的选择 4-5 系统实验结果 第五章 整机控制 6-1 系统操作过程 5-2 程序存贮器及数据存贮器 5-3 显示功能 5-4 键盘 5-5 打印 5-6 A/D及D/A转换 5浙江大学硕士学位论文 X.0=arctan d(F/*) 式中d和F/*分别是透镜的口径和速度,如果在传统的球面折射系 统中,大的偏转角必然带来大的波象差和透镜位移量。而用微透镜阵 列互补对取代一般光学透镜对会带来两个很大的点:第一大大地减小 透镜位移量只是微透镜口径的量级,并与入射光束口径无关.第二由 于微透镜位相剖面可以设计最优化(如取抛物面相位剖面)以消除光 束偏转方向的轴外波差。在国外,该扫描器的各参数性能如下:微透 镜直径为200μm,焦距为990μm,相位级数为8,衍射效率为95 ,每 个阵列包含约60000个微透镜,扫描视场角为11°,扫描速率为 35hz。
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