【宽带砷化镓Mach-Zchnder干涉型电光强度波导调制器】.pdf

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浙江大学研究生学位论文用纸P,/目录 论亡提要 一、引言 1神化波导凋制四的发展背景 1y分岔干涉型调制四与其他结构的由史波导凋制 四的比较 1GaAsy 分岔 Mach-2ehnder 干步凋制四 的研空现状9 1本文的不作 二.GaA y分岔干步型电之强度凋制口的波汁和性 能分诉 2.调制四的基本结构和工作原理 2 光波导的没汁 2Schomky 空电场分布 2由克效应 2调制口频率特性分析 2波导四件性能的 PBM分析和模m36 三.调制四的试制) 3.浙江大学研究生学位论文用纸P 宽带y 分岔电光GaAs波导干涉型调制口提要 本文对GaA同质结Scho*ky势垒干步型电光调制)口作了泽细的理论分析和实验制作。工作波长106m 低损耗y分岔、自时准Schotky禁垒电坡电光Maeh-2ehner 脊形波导干涉洞制四用化学刻和揭膜法在h/ntGaA 对底上制成.本文还用有折射平法和传播光東法 对波导性能进行了深入的分析和计励,并时凋断四 谁计作了二催计标机数值模拟。实验结果表明,这 种干学型凋制四的带宽可大子 1.1GHg.浙江大学研究生学位论文用纸P.5 一、引1言 1神化缘波导调制器的发展背景 单模光纤通论的迅猛发展,使得宽频带光调制 四的研究和开发成为追切需要。为研制宽带了秋光 凋制四,全世界的有关研究人负都在不断寻找更好 的调制四材料和更有致的器件结构.晶体光调制器由子受衍射致应的限制,功耗大 足现代走迎讯的要求。注入代半导体激光四真接调 制,在字频凋制时存在波长调制以及瞬间根荡和似 横赵增加女缺点,因此也没法满足单模光纤通深的 宽频带要求。而演生电走凋制器不化功耗小,调制 放本子,而显频带宽,体积小适子集成。是单横光 伊迎讽中光调制的理想形式。
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