【表面形貌的扫瞄电镜-微机检测方法研究】.pdf

目录中英文摘要第一章绪论-1扫描电子显微镜在表面形貌测量中的应用 1-2扫描电镜测量表面形貌的方法综述 1-3 表面形貌表征、评价的进展-4本文的研究内容第二章用扫描电镜微机量澜表面形貌 2-1 测量原理-2 表面粗糙形貌的微机测量 2-3 表面形貌微机量测的实验及结果分析第三章表面三维形貌的数据处理-1表面三维形貌数据的数字滤波 3-2 表面粗糙形貌的三维评定参数 3-3 表面粗糙度的二维谱估计,3-4表面粗糙度的二维谱估计实例及分析第四章结语.致谢

摘要本文介绍了扫描电子显微镜(SEH)在表面三维形貌测量中的应用,并在综合分析用SEM测量表面形貌的各种方法的基础上,着重讨论了扫描电镜微机量测表面形貌的原理和方法,建立了一套完整的湖量装置,并提出了表面形貌三维信息的二维数据处理方法,编制了一套较为完善的表面形貌参数分析和谱分析的软件系统.对潮量结果分析表明:SEM微机量测法能较为有效地实现表面形貌的三维测量,特别是对于有较明显特征的被测表面,能够得到较理想的结果:对于随机表面完全可以用统计参数加以描述,而对于率结构。

浙江大学研究生学位论文用纸P 立体形态进行观察和分析,以研究相形成机理及其三维立体形态特征.同时在试样原位动态分析方面,SEM也显示了较突出的优越性.但SEM的像衬度是由CRT荧光屏上不同区域的不同亮度形成的,图像的亮度即信号的强度与被测表面的高度并不是线性关系,因此观察 SEM图像仅获得表面三维形态的立体感,并不能获得表面的高度信息.本文旨在研究用SEM获得表面三维形貌的定量信息的方法,将仅用于观察分析的SEM开发为能进行表面形貌定量测量的多功能仪器,并在此基础上研究对表面形貌的表征和评价方法。