【非晶硅非晶硅氮多层薄膜的制备及其界面性能的研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.致谢 本论文是在导师丁子上教授和韩高荣副教授的悉心 指导和热情关怀下完成的,他们严谨的治学态度和忘我 的工作精神给我留下了深刻的印象,在此谨向他们致以 诚挚的敬意:论文的完成与教研室全体老师和同学的帮助是分不 开的。我要特别感谢葛曼珍老师、杜不一博士和韩伟强 博士生在各方面给予的热心帮助.另外,课题工作还得到了浙江大学半导体研究所的 宋晨路和王平两位老师、浙江大学分析测试中心的王幼 文老师、南京大学微结构固体物理实验室的张明生、蒋 树生和陆亚林等老师的大力支持,在此表示衷心的感谢。
浙江大学研究生学位论文用纸P.首次提出并研究了H2(等离子体H2)清洗界面对超晶 格结构及光电性能的影响,IR谱、Raman谱、TEM、小角 X-ray衍射等的结果表明,用H2清洗超晶格界面的过程中,H自由基对界面的作用机制有所不同,薄膜结构发生从 无序.有序.无序的变化趋势,尤其是势垒层的结晶度 出现明显的变化。当H2清洗时间tH为10s时a-Si:H/a-SiNx:H(ds=dn=50A)超晶格结构具有最陡变的界面,.θ只有7°,a-SiNx:H层结晶度最高,E。pt为1ev 薄膜具有最高的光敏性(0p/0D≈10°)和最显著的电导 率各向异性值(α/α⊥≈10)。
浙江大学研究生学位论文用纸P.bond angle on single silicon and the disorder degree of structure increase.When the thickness of a-Si:H sublayer(ds) is less than 50A,the optical band gaphas a sudden changeduetothequantum size effect.The effect of thehydrogen radicalscleaning on theinterfaces ofsuperlatticestruture