【刻划照相光刻】上海科学技术.pdf
011/42.5 刻划照相光刻 曹向群陈林著 刘怀道金彤
前言 由于计量测试、自动跟踪、光电控制、微细技术等领域的白 益发晨,对刻划、照相、光刻技术不断提出新的要求,而刻划、照相等技术的进步,又会促进上述领域的发展。本书出版的目 的,旨在推动机械刻划、照相复制、投影光刻、微细加工等方面 的工作,为有关专业人员提供一本内容新颖全面、理论实践并重 的参考用书.本书由浙江大学曹向群、金彤,南京光学仪器厂刘怀道,上海华京工业大学陈林共同撰写,由曹向群担任全书的.本书作者、审稿者都长期工作在科研、教学、生产第一线,是举行第一届、第二届全国刻划技术短训班的执教者,曾编写过“刻划照相技术”、“刻划照相论文集”等讲义。
第五章照相复制 *194 第一节基本工艺第二节照相复制感光胶 第三节照相复制的工艺类别第四节直接光刻法 第六章微细光刻技术 第一节 光刻原理 第二节 光致抗蚀剂第三节 光刻技术 第四节 光刻设备第五节光学检测设备第七章立体光刻 第一节微型机械第二节微光学 第三节LIGA(X射线深层光刻)技术 第四节立体光刻成型技术 第八章长度检定 第一节 长度检定的发展概况第二节 长度检定第三节常用计量仪器第九章角度检定