【国外集成电路测试仪概况】上海科学技术情报研究所上海.pdf

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国外集成电路测试仪概况 集成电路(IC)测试仪是在使用和制造集成电路时用来测试 或检验其主要电特性的设备。它是随着1C的发展而发展起来 的。最初IC测试仪都是大型的(即IC自动测试仪),它是由IC 生产广为了制造1C而研制成的,后来才逐渐在市场上出售。如(TexasInstruments)生产的553型及日本东芝公司生产的1200 型10测试仪等。随着IC的普及,根据使用者的需要,出现了 小型简易的IC测试仪。并随着中规模集成电路(MSI)和大规 模集成电路(LSI)的大量生产和进入实用阶段,就相应出现了 MSI测试仪和LSI测试仪。IC测试仪的用途 现在所用的IC测试仪大致分为两种。一种是IC生产厂为 了生产和试制IC而制造的,作为生产设备,是大型的(即IC自 动测试仪)。另一种是为了IC使用者作特性试验而制造的,是 小型的.生产IC的厂有如下几方面的具体应用:设计IC; 基片制造时的基片检查.IC的系列分类.入库与出库检查.收集与处理质量管理用的数据.鉴定质量.保证可靠性.使用者有如下几方面的具体应用:检查买进的IC; 按IC的特性进行分类.鉴定IC与附加装置的设计.被测试的集成电路任一引出头用的矩阵转换开关所组成.除了测量直流特性外,还需测量脉冲特性,故在机内还附有 可变频率的脉冲发生器,同时还可安装供观察的外接示波器等.表1表示了简易型IC测试仪的性能比较.2.高速自动IC测试仪 对于简易型IC测试仪,它的测量电路的组成、电源的偏置、读出装置和量程的转换等测量项目的改变都是用人工方法进行 的。而自动IC测试仪这些测试项目不能任意预先进行测量,而 要根据顺序按项目进行测试,用程序法在合格/不合格测试情况 下,测量速度达每秒50.200个测数。