【光学计量仪器】第二辑 - 上海科学技术编译馆上海.pdf
录 0521078 10.精密长度測量技术的进一步发展和它在制造、驗及计量室中的应用 目 一在直接数和自动瞄准方面的一些进展 1.最近的工具显微 2.新型值計量的光学机械仪器 3.MKM型坐标测量显微 4.可测至30吹的新型测长机 5.投影仪和测量显微镜的测量差 6.测角仪器的驗 7.光学計量仪器中的测微目鏡 8.螺紋螺距差的高精度测量 9.内螺紋的光学测量法 12.机构傅动精度的无接触驗 11.
图2VHM-21型仪器的测高装置 一般为0.0毫米。数方式多数由装置在 镜筒内部的玻璃标尺成象在观察目镜的場边,借助于目分划板上的游标进行数。日本联合公 司的工具显微镜就是这种类型的仪器.4.此外,西德Zeiss厂生产了一种新型的内螺 及高度测量装證(图3),用来装在测量显微镜的 物鏡上,它具有一根0.30毫米的玻璃标尺,在双筒 目镜的脱中可以取的分度值是1微米.图3西德Zeiss厂万能量显微镜上的 内螺教及高度測量装置 民主德国Zeiss厂的KM-10型和P1型仪器 上,除具有测量范国为150毫米,分度值为0.
上固定着的工作台导与立柱导也都是用花岗石 条制成的。为减少摩擦的影响,在滑动面上涂了炭 层,而不用油层潤滑,避免了油膜对测量精度的影 响。仪器纵横导的垂直性偏差为5秒,滑板运动 3.在测量方法方面,苏联B.Ⅱ.KopogKeBHq 等发麦了采用和洛埃镜相仿的干涉带来提高测量螺 紋时的瞄准精度的方法。其結如下:测量螺紋参数的干涉方法不需要应用接触 工件输腕边缘用干涉带方法的定位精度与 显微鏡瞄准标尺刻的精度一样.用干涉方法检查螺教工件时,可考虑到被 浏螺紋密面的偶然不平废,这在用测刀时是困难的.用干涉方法测量工件时,不要求改变显微 当散焦为0. 