【半导体材料】第一册.pdf
目 序 iv 第一章络 第二章錯和硅的化学制备 1.的源2.鳍的富集和制取.3.硅的资源和制取.4.硅的化学提.第三章、硅的区域提純5.分凝现象6.正常凝周7.区域提原理8.销的区域提.9.硅的区域提.第四章錯、硅单晶的制备S10.单晶的生长11.单晶的制备-S12.硅单晶的制备13.影响单晶生长的因素14.单晶生长中杂质的分布与控制15单晶中的缺陷
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目 序 iv 第一章络 第二章錯和硅的化学制备 1.的源2.鳍的富集和制取.3.硅的资源和制取.4.硅的化学提.第三章、硅的区域提純5.分凝现象6.正常凝周7.区域提原理8.销的区域提.9.硅的区域提.第四章錯、硅单晶的制备S10.单晶的生长11.单晶的制备-S12.硅单晶的制备13.影响单晶生长的因素14.单晶生长中杂质的分布与控制15单晶中的缺陷缺页缺页 
