[半导体测量和仪器]·上海科技社版

【半导体测量和仪器】上海科学技术.pdf751555 半导体测量和仪器 [美]W.R.鲁尼安编著 上海科技大学半导体材料教研室译译者说明 上海科技大学半导体材料教研室 一九七九年三月 本书系根据美国W.R.鲁尼安(Runyan)所著《Semicondu ctorMeasurementsandInstrumentation》一书(1975年版)译 出.它是国际上近年来较为全面地论述半导体测试的一本专著.书 中着重介绍了半导体材料测试的原理和设备,对于半导体器件的 测试也作了一定介绍,还评论了各种测量方法和仪器的使用范围 及其优缺点.书后附有大量的参考书目,以供进一步查阅和研究.立 3iii.目录 晶体取向 1晶体学 1晶体定向 晶体缺陷及其观察 2点缺陷 2位错 堆垛层错 系属组织 晶粒与晶界 夹杂物 点阵应力与应变 2表面机械损伤 2外形缺陷 2辐照损伤 电阻率及载流子浓度的测量 3概说 3基本方法 3二探针法和四探针法的仪器 3二探针和四探针测量的误差 3扩展电阻 非接触测量电阻率的方法 载流子浓度 3.
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