【扫瞄微波近场显微镜及其应用】刘雷.pdf

论文答辩日期:2001年6月6日指导教师:2冯一单(签字)

5常温超导薄膜局域微波特性测量 5 用微波近场显微镜分析高温超导薄膜局域改性第六章用有限差分方法分析微波近场显微镜6 引言6 理论分析模型的建立6 介质样品测量时探头电性质的变化6 金属样品测量时探头电性质的变化6 微波近场显微镜的空间分辨率6 用有限元法分析探头附近的场分布第七章结束语致谢.

了研究。获得了银、铬、铝等金属薄膜、金属多层薄膜及其图形微波表面电阻的空间分布图象。有关金属多层薄膜的研究结果还未见其他报道。这些信息将有助于对半导体集成电路、微波集成电路的设计及其平面加工进行分析和评价.4．采用微波近场显微镜系统对各种介质材料以及LaAlO、MgO、ZrO2、SrTiO、LASAT等常用超导薄膜的衬底材料进行了研究,获得了它们的介电常数(实部,虚部)的空间分布图象。对铁电薄膜(PZT薄膜)的电可调特性进行了初步的研究.5．采用微波近场显微镜对常温下的超导薄膜微波表面电阻的空间分布进行了扫描测量和分析。