【高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究】张书生.pdf

华南理工大学硕士论文高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究目录摘要(中英文)第一章绪论第二章电感耦合等离子体源的基本原理2等离子体概述2等离子体离子源概述 2电感耦合等离子体离子源的基本原理第三章电感耦合等离子体源的数学模型 3等离子体基本参量 3等离子体中粒子的碰撞及元过程3ICPS数学模型的建立分析与讨论.第四章智能化朗谬尔探针的研究 4等离子体诊断概述 4朗谬尔探针的工作原理.4智能化朗谬尔探针的设计第五章总结与展望致谢参考文献

谨以此文献给生我养我的父母

华南理工大学硕士论文高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究第一章绪论微电子技术是一门使电子设备微型化的技术,其中心内容就是集成电路和计算机,而其实质则是精细和超精细的加工技术,它已成为整个电子信息产业的核心。刻蚀是集成电路生产中关键性的一步,它分为干法刻蚀与湿法刻蚀。干法刻蚀使用气体在放电环境下刻蚀金属、绝缘体和半导体等物质。湿法刻蚀则使用液体来完成上述工作。干法刻蚀之所以在集成电路生产等微细加工领域上得到普遍应用以及它们与日俱增的重要性,是由于它使用的化学药品少,对环境污染减少以及容易实现自动化生产等缘故。