[高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究]张书生

【高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究】张书生.pdf华南理工大学硕士论文 高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究 目录 摘要(中英文)第一章绪论 第二章电感耦合等离子体源的基本原理2等离子体概述2等离子体离子源概述 2电感耦合等离子体离子源的基本原理 第三章电感耦合等离子体源的数学模型 3等离子体基本参量 3等离子体中粒子的碰撞及元过程3ICPS数学模型的建立分析与讨论.第四章智能化朗谬尔探针的研究 4等离子体诊断概述 4朗谬尔探针的工作原理.4智能化朗谬尔探针的设计 第五章总结与展望 致谢 参考文献谨以此文献给生我养我的父母华南理工大学硕士论文 高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究 第一章绪论 微电子技术是一门使电子设备微型化的技术,其中心内容就是集成电路和计 算机,而其实质则是精细和超精细的加工技术,它已成为整个电子信息产业的核 心。刻蚀是集成电路生产中关键性的一步,它分为干法刻蚀与湿法刻蚀。干法刻 蚀使用气体在放电环境下刻蚀金属、绝缘体和半导体等物质。湿法刻蚀则使用液 体来完成上述工作。干法刻蚀之所以在集成电路生产等微细加工领域上得到普遍 应用以及它们与日俱增的重要性,是由于它使用的化学药品少,对环境污染减少 以及容易实现自动化生产等缘故。
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