【二氧化锡超微粒气敏膜及其传感器制造的研究】徐邦胜.pdf

目录摘要第一章概述 11半导体气敏传感器发展史 12半导体气敏材料 G 13气敏传感器的分类及结构.第二章SnO超微粒气敏膜.21Sn0气敏气件的特点 2Sn0膜的敏感机理 23Sn0超微粒膜的制备.23 超微粒的特点 14 232超微粒膜的制备及扫描电镜分析2-4Sn02超微粒膜的x射线分析第三章Sno超微粒膜的电特性超微粒膜的电阻与温度的关系超微粒膜的电阻与气体浓度的关系 3超微粒膜的激活熊.第四章微型气敏传感器的制造工艺4气敏传感器中的加热元件

二氧化锡超微粒气敏膜及其传感器制造的研究华南理工大学无线电系徐邦胜摘要超微粒气敏膜具有灵敏度高、选择性好、功耗低。易于集成等优点,因此,集成化超微粒薄膜气敏传感器将是气敏传感器的最终发展方向。目前,国外在这方面的研究有较多的报道,但国内这方面的研究进行得不多。本文主要介绍snO2超微粒气敏膜的制备、特性和在硅片上淀积超微粒膜的微型气敏传感器的制造工艺。这对制造实用的。低功耗的气敏传感器有指导作用.在氢气中对Sn02靶(纯度为999)进行射频磁控溅射,成功地制得了sno。超微粒气敏膜。溅射条件如下:功率水平:5w/.

粘附层),经过去胶形成电阻加热器.在电阻加热器上,用射频磁控溅射方法溅射一层厚度2000 人的S102膜作电绝缘层,经过刻蚀形成与Au相连的接触窗口.通过射频磁控溅射淀积SnO,超微粒气敏薄膜,并采用等离子剥离形成图形,15从硅片背面去掉硅,实现传感器与硅片的热隔高.这样,我们就制作了以二氧化锡超微粒膜为敏感膜的气敏传感器,每个传感器的总尺寸为5mm×5mm,从而可在直径为1 英寸(4厘米)的硅片上集成36个气敏传感器。对制造工艺中的关键性工艺:光刻工艺、镀膜工艺、腐蚀工艺进行了探索性的实验研究。