【带电粒子光学系统的高级象差修正】林晓梅.pdf

目录第一章引言第二章带电粒子光学系统高级象差的自动修正 S21 带电粒子光学系统的数学描述 .22 高级象差务析与修正原理 1。象差系数的计算方法 2。象差系数和磁多极的关系 3。磁多极的类型 4.高级象差修正 .2 高级象差的自动修正 1。高级象差自动修正的思想 2。高级象差自动修正的数学方法 3。高级象差自动修正程序.S2 高级象差修正实测.第三章带电粒子轨迹的随机跟踪.3 源的几何形状.矩形。圆环形。圆柱面:4.

第一章引言近一、二十年来,带电粒子光学系统,如加速器束流传输系统、带电粒子谱仪,电子曝光机、离子注入机、质谱仪,分离器、电子和离子微探针、电子显微镜,电子离子束器件等在无线电电子学,电子显微学、质谱学、表面物理,材料科学、核物理与高能物理、等离子体物理等领域有着广泛的应用。随着这些领域的发展需要,对这些带电粒子光学系统则提出了越来越高的要求。例如,为了更好地利用带电粒子进行核物理实验工作,要求带电粒子谱仪有更高的动量分辨率和更大的可容纳立体角.为研究出超高速、超大赛量的电子计算机,在大规模集成电路中,需要采用直径为微米和亚微米的电子加工技术,则要求电子曝光机的分辨率很高.

技术的飞速发展,传统的人工设计已经不能满足生产实践的迫切器要,采用计算机进行自动优化系统参数,修正高级象差已经提到日程上来.为此。本文探讨了高级象差的自动修正。内容包括:计算象差系数的两种方法-传输矩阵法和轨迹跟踪法.n级象差系数和n 级磁多极强度的关系.磁多极的三种类型,如纯多极元件、非均匀磁场、弯曲入口边界和弯曲出口边界.高级象差自动修正的思想和数学方法。本文通过自动调节相应磁多极的物理参数或结构参数,逐级实现各级象差的自动修正.文中所采用的激学方法为逐次逼近的线性最小二乘法。