【光学显微轮廓仪】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 OFTICAL FFOFILOMETER AEETRACTS This cpticalorofilometer car provides aaorcontactmethode cf obtsirirs surfece characte:istics with hiah brecision.The s=ystem consiste cfareflectira micrcscops,s.Mirau interferompter cortrolledbyecizeoeis=t:ictranedscer.e.
浙江大学研究生学位论文用纸 P.C 目录 一.前言 1.二.充学显微轮廓仪 5.三.干尚显微错及位相测号理 7.干涉显微钳 7.位相测另瓦理 12.干场光强近似表达式推导 13.B千步移相技术适用性问题 4.一些考蚊的选择 21.四.应用软件 24.干涉备敏据处理 24.粗糙度参政计标 30.轮廓据的进一步分析.软件桓及应用示范 40.五误差分析 43.移相步幅不准 2.光院不稳定 49.光电转换等的非线性 51.易化 53.-5.随机噪声 54.
浙江大学研究生学位论文用纸 P 一前言[6] 表面粗越度的刚男和存关统升考的的确定在 许多邻域都是非常重妥的,光学表面的微观不平 将引起故射和吸收,表面微况不平的高度和问膀 统计参故在磨擦、润滑和接触电阻等的研究中也 是非常重安的,另外象薄膜无件和微电路的可养性,碰常,磁鼓和磁盘单位面积上所陆存储的仅息刃都 与夜面粗起程度有着密切的关柔,左许多伤合表面粮 糕度度决定着产品的性法质双,表面粗越底的刚对控 制也是一个重安的技术经济回题。 