【光学显微轮廓仪】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.i 摘 曼 光学显微我扉仪利用支流于技术实观 对表面形貌的高精度非接触式剛量.本仪器利用Mirau显微千仪产生干国家 由压电陶瓷驱动对条改进行4步妇猫。用256元 CCD线阵接收光强信号经 7biH+sA/D科换后 送入 Appl I微机.ApPleⅡ微机完成计标相位,消跳变。并 给 生表面相糙度梦数 Ra,Rz,Ry,S,Sm。表面H3 貌的功毕遣,自相关函数,高度兮而且方回和支 承率等统计特性也由对表面形貌的兮折得出.本仪器则量重复性为20A.本文洋细讨论了光守显微较仪的数据 采集孩口,相位计耐方法。并对仪器的误差作了 定量的兮折。
浙江大学研究生学位论文用纸P.i 目录 一.前言 二.光学显微廓仪的系统结构 三.光电接收及数据采集系,统:18 四.数据分析软件.五.移相考幅的枚Z 六.误差合折 七.结泣 八.改谢 九.
浙江大学研究生学位论文用纸P．2 涉方法有等色序条效(FEc0),Nomanski微分干涉,Tolamgh 多光束干涉.以5及Miclelson,Limik,Mirau等型t的双 光束干.扫猫电子显微镜方法首花对被刚表面进行 腌模复制,然后用妇猫电镜逐点测量掩模对电 子束的透射情况。用数守国家处理技术对测量结 果进行淌散粒噪声、基底噪声,从而得到模厚 度的变化。该变化即对应于被则表面的微观形貌.但由于回猫电镜价格昂贵,挽模的制作要求很高 这种方法要难广作为一种常规的则量手段显过是 不可解的 微今光散射法刚量试样散射光的空问兮而。 