[半导体器件制造技术]

【半导体器件制造技术】.pdf毛主席语录 领导我们事业的核心力量是中国共 指导我们思想的理论基础是马克思 在生产斗争和科学实验范围内,人 类总是不断发展的,自然界也总是不断 发展的,永远不会停止在一个水平上。因 此,人类总得不断地总结经验,有所发 现,有所发明,有所创造,有所前进.认识从实践始,经过实践得到了理 论的认识,还须再回到实践去.产党.列宁主义。一九七一年五月 《半导体情报》编辑部 序 灿烂的思想政治之花,必然结成丰满的经济之果。伟大 的无产阶级文化大革命空前地焕发了人民群众的社会主义革 命积极性,推动着我国社会主义建设迅猛发展。奋战在半导 体工业战线上的革命战士,在伟大领袖毛主席和以毛主席为 首、林副主席为副的党中央领导下,在“九大”团结胜利的 路线指引下,高举《鞍钢宪法》的伟大旗帜,狠批了刘贼的“洋奴哲学”、“爬行主义”、“专家路线”等反革命修正主义黑 货,坚持毛主席“独立自主、自力更生”的方针、“走自己 工业发展的道路”,掀起全国大办电子工业的热潮。7)5一4扩散法与其他方法的比较 P-N结隔离技术 图形设计和电路图形的布局 一次缩小和步进重复照相 光刻掩模的复制 7一7显影液、定影液和化学药品简介 光刻的一般工艺过程 投影曝光和电子束曝光简介 蒸发工艺的一般概念 蒸发设备及工艺(电阻加热)
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