【多层膜的微观结构和性能表徵】李文明.pdf
密级:内部 学号:940303 麦振洪研究员.陶琅教授 答辩委员会主席:范希武研究员 论文评阅人:梁敬魁院士 多层膜的微观结构和性能表征 一九九八年五月 李文明 指导教师:王煜明教授 专业名称:凝聚态物理 论文答辩日期:一九九八年玄月十日 授予学位日期:二九九八年八月二十一日 分类号:0482 作者
吉林大学博士学位论文 一要 本文利用X射线衍射手段,并且结合TEM、激光Raman光谱、表面光 电压、硬度测试等手段针对当前广泛受到物理学家和材料科学家关注的几种 通过X射线衍射付氏线形分析方法对TiO/Cu超晶格、TiN/Ti超晶格、Mo/Si多层膜进行了研究.结果表明多层结构能够导致晶粒细化,随着调制 周期的减小,亚晶粒尺寸减小.对于调制结构来说周期越小晶格应变越大.对不同基底的TiO/Cu超晶格的小角X射线散射谱的分析及计算机模拟的结 果表明基底的表面和结晶状态对薄膜生长的取向有很大的影响,这又直接地 影响到界面结构及粗糙度。
吉林大学博士学位论义 4根据晶体范性形变结构表征薄膜硬度的思想与结果李文明 3小角X射线散射分析和讨论 3高角X射线衍射分析与讨论透射电子显微分析(TEM)3超晶格的电子衍射图象表征 3TiO/Cu超晶格的Raman光谱表征 3实验设备及实验条件实验结果及讨论.