【金字塔形电光微探针的研制与应用】葛元庆.pdf

吉林大学硕士论文金字塔形电光微探针的研制与应用葛元庆指导教师:贾刚教授专业:微电子学与固体电子学一九九九年六月

目录第一章前言-第二章外电光取样原理 2电光效应 2线性电光效应 -4 2GaAs的线性电光效应 -7 2GaAs的线性电光调制 -11 2取样技术原理 -12 2取样的基本概念 -12 2取样的物理过程 -13 2取样的方法 -14 2外电光取样原理 -16 2非共轴式外电光取样系统 -16 2共轴式外电光取样系统 -17 第三章微探针模式分析-19 3高空间分辨率构造机理及传统方法的局限性 -19 3微探针的外形-19 3测量光束在探针中的传输 -20 3.

吉林大学硕士论文第一章前言近年来,电子工业的迅速发展,信息产业的高速腾飞,使得人们处理的信息量直线上升,因而对电子器件尤其是集成电路的要求也越来越高,于是集成电路的集成度越来越高,达到亚微米并向深亚微米发展.集成电路的工作频带也越来越宽,目前已达到200GHz。[1] 集成技术的迅速发展要求更高精度的合适的检测技术。于是相继出现了如电子束测试技术2及光子束测试技术3等.本文采用光子束测试技术并结合电光晶体的线性电光效应及超短光脉冲取样技术进行了高空间及高时间分辨率的外电光检测技术研究.电光取样技术[4自1982年J.A.