【非金属陶瓷材料基底上金刚石薄膜成核特性研究】季燕菊.pdf
分类号:0484 密级:内部 研究生学号9604003 论文题目:非金属陶瓷材料基底上 金刚石薄膜成核特性研究 作 者:季燕菊 专 业:凝聚态物理 研究方向:薄膜物理 导 师:高春晓 教授 吉林大学 超硬材料国家重点实验室
目录 第一章绪论 第一节金刚石的结构和性质 第二节金刚石薄膜的研究动向 第三节论文的选题 第四节HFCVD法制金刚石膜的设备与工艺条件 第二章非金属陶瓷基底上金刚石的成核与生长 第一节引言 第二节类金刚石结构基底上金刚石的成核与生长14 第三节六角层状结构基底上金刚石的成核与生长第四节氮化物膜基底上金刚石的成核与生长 第五节引晶对金刚石的成核与生长的影响第六节小结 第三章金刚石膜/氮化物基底界面结构 第一节引言 第二节 截面TEM样品的制备 第三节AIN薄膜上沉积金刚石膜界面研究 第四节金刚石膜/BN基底的界面结构 第五节小结
吉林大学硕十学位论文 方体 八面体 图1金刚石的生长形貌 金刚石具有许多优异的热学、光学和电学等性质,在高 科技领域具有十分广阔的应用前景,受到了人们的普遍重 视.金刚石具有极好的力学性质[见表1],是自然界中最硬 的材料。它的硬度达到1000kg/mm2,可以用来制作切削工 具和耐磨部件,在机械加工领域应用广泛.表1金刚石的力学性质 硬 度 1000kg/mm2 热冲击系数 10W/m 抗张强度 272kg/mm2 泊松比 0 抗压强度 9x1013kg/mm2 弹性模量 10X10Pa 杨氏模量 1x102Pa 表1.