【题名＝金刚石薄膜的制备及场发射特性的研究】金文成.pdf

吉林大学硕士学位论文金刚石薄膜的制备及场发射特性的研究金文成导师:金曾孙教授顾长志教授专业:凝聚态物理一九九九年六月

吉林大学硕士学位论文目第一章绪论第一节金刚石的性质及应用第二节 CVD金刚石的发展历史第三节场发射的应用一FED及其研究进展第四节论文的选题和研究内容第二章场发射理论及金刚石薄膜在场发射的应用-第一节 FN理论第二节金刚石薄膜的场发射理论第三章金刚石膜的制备第一节 MW-PCVD系统第二节碳源气体浓度对金刚石膜生长的影响第三节衬底温度对结晶生长的影响第四章金刚石膜场发射特性的研究第一节场发射测试设备第二节不同表面形貌的金刚石膜的场发射特性第三节不同甲烷浓度合成的金刚石膜的场发射特性第四节金刚石膜厚度对场发射的影

吉林大学硕士学位论文景,引起了人们对这种材料的极大重视。但是由于天然金刚石的储量少,价格十分昂贵,而在50年代发展起来的高温高压法合成的金刚石为粉末状,生长大颗粒金刚石的成本很高,因此使金刚石的实际应用受到很大的限制.近十年来,金刚石的低压合成方法取得了迅速的发展,采用化学气相沉积方法,可以制备出各种形状和尺寸的金刚石膜,从而使金刚石的应用领域得到扩展,为金刚石在力学、电学、光学、热学、和声学等领域的应用奠定了基础.可是,由于CVD金刚石一般是多晶材料I6],在整体性质上还达不到天然金刚石和高压金刚石的水平。