[低应力立方氮化硼薄膜的沉积研究]朱品文

【低应力立方氮化硼薄膜的沉积研究】朱品文.pdf分内号:0484 密级 内部 研究生学号9504003 论文题目:低应力立方氮化硼薄膜的沉积研究 作 者:朱品文 专 业:凝聚态物理 研究方向:立方氮化硼薄膜 导 师:赵永年教授 吉林大学 超硬材料国家重点实验室目录 第一章前言 第一节氮化硼的结构与性质 第二节立方氮化硼薄膜,第二章立方氮化硼薄膜的沉积与测试第一节射频磁控溅射设备.第二节薄膜制备 第三节 薄膜的鉴定测试 小结 第三章 镀膜参数在c-BN薄膜沉积中的作用第一节 基底正偏压的影响,第二节 基片温度的影响 第三节 进气量的影响 第四节 时间的影响 第五节 等离子体区的影响 小结 第四章(C-BN薄膜沉积机制的探讨 第一节 五个C-BN薄膜沉积模型 第二节 相转变模型 小结 第五章:结果与讨论参考文献.吉林大学硕士学位论文 六角氮化硼的结构与石墨的结构相似,属于六角晶系,其不同之处是由六角网格排列成的片层,每隔一层产生半个 六角网的位移,这更有利于六角相向立方相转变。图1是这 种结构的示意图。它的晶格常数是a=2A,c=6A,密度 p为2克/厘米”。片层内的氮和硼组成的键是SP”杂化.六角氮化硼是白色的,在空气 中非常稳定,能耐2000℃的高温,3000℃时升华。它只有在连续和强 烈加热条件下才能燃烧。h-BN具有 hBN 良好的绝缘性、导热性和化学稳定 性,对大多数的熔融金属都呈化学 图1h-BN结构示意图 惰性。
———— 文字由OCR识别(未校验)，可能存在错字；请以原始完整版为准。