【低应力立方氮化硼薄膜的沉积研究】朱品文.pdf

分内号:0484 密级内部研究生学号9504003 论文题目:低应力立方氮化硼薄膜的沉积研究作者:朱品文专业:凝聚态物理研究方向:立方氮化硼薄膜导师:赵永年教授吉林大学超硬材料国家重点实验室

目录第一章前言第一节氮化硼的结构与性质第二节立方氮化硼薄膜,第二章立方氮化硼薄膜的沉积与测试第一节射频磁控溅射设备.第二节薄膜制备第三节薄膜的鉴定测试小结第三章镀膜参数在c-BN薄膜沉积中的作用第一节基底正偏压的影响,第二节基片温度的影响第三节进气量的影响第四节时间的影响第五节等离子体区的影响小结第四章(C-BN薄膜沉积机制的探讨第一节五个C-BN薄膜沉积模型第二节相转变模型小结第五章:结果与讨论参考文献.

吉林大学硕士学位论文六角氮化硼的结构与石墨的结构相似,属于六角晶系,其不同之处是由六角网格排列成的片层,每隔一层产生半个六角网的位移,这更有利于六角相向立方相转变。图1是这种结构的示意图。它的晶格常数是a=2A,c=6A,密度 p为2克/厘米”。片层内的氮和硼组成的键是SP”杂化.六角氮化硼是白色的,在空气中非常稳定,能耐2000℃的高温,3000℃时升华。它只有在连续和强烈加热条件下才能燃烧。h-BN具有 hBN 良好的绝缘性、导热性和化学稳定性,对大多数的熔融金属都呈化学图1h-BN结构示意图惰性。