【用微波等离子体和过渡族金属对金刚石膜表面处理的研究】郝世强.pdf

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用微波等离子体和过渡族金属 对金刚石膜表面处理的研究 作 者:郝世强 导 师:金曾孙教授 专 业:凝聚态物理 吉林大学 一九九九年六月目录 第一章 绪论.第一节 金刚石的结构.第二节 金刚石的性质及应用,第三节 金刚石合成方法及机理简介,第四节 CVD金刚石的发展历史,第五节 论文的选题和主要研究内容.第二章 微波等离子体对金刚石膜表面刻蚀的研 第一节 实验装置第二节 不同温度下微波等离子体对金刚石膜表面的刻 蚀 第三节 不同氧气浓度下微波等离子体对金刚石膜表面 刻蚀第四节 金刚石膜不同晶面的刻蚀第五节 第三章 过渡金属对金刚石膜表面的反应腐蚀吉林大学硕士论文 第一章绪论 第一节金刚石的结构 金刚石以其优异的物理化学性质引起世人瞩目。它的 各种性质完全决定于其晶体结构。金刚石是IV族碳原子以 面心立方结构沿对角线平移四分之一套构而成。如图(1-1)a 所示。金刚石的每个碳原子周围有四个最近邻碳原子和十 二个次近邻碳原子,每个碳原子与周围的四个最近邻的碳 原子构成一个正四面体,如图(1-1)b所示。任何两个最近邻 的碳原子之间形成稳定的共价键,键长1A,键角 109°。这种键为sp”杂化构成四个等价轨道,杂化使最 终的轨道有四面体方向性。