【立方氮化硼薄膜沉积的研究】王波.pdf

分类号:0484 密级:内部学号:(博)940304 立方氮化硼薄膜沉积的研究作者:王波导师:程开甲院士副导师:赵永年教授专业名称:凝聚态物理论文答辩时间:1997 授予学位时间:1997.

目录第一章绪论.第一节氮化硼的结构与性质第二节立方氮化硼薄膜第二章镀膜设备和薄膜制备的基本程序第一节射频磁控溅射设备第二节薄膜制备的基本程序第三章氮化铝薄膜的制备研究第一节氮化铝薄膜第二节氮化铝薄膜的制备研究小结第四章立方氮化硼薄膜的沉积与测试第一节薄膜制备第二节薄膜的鉴定测试.小结第五章镀膜参数在c-BN薄膜沉积中的作用.第一节基底负偏压的影响第二节基片温度的影响和BN 薄膜的温度-负偏压相图第三节射频功率和镀膜时间的影响第四节溅射气体压力和成分的影响第五节C-BN在硬质合金表面的沉积实验

吉林大学博士学位论文第一章绪论回顾科技发展的历史,材料科学的进步和发展促进了新技术和高性能的出现,而为了进一步提高、发展新技术,又要求新型的优良材料,可见材料科学已成为科技发展的关键.材料的研究与应用涉及到众多专业的各个方面。在材料的应用中,根据不同用途的需要,材料会以许多种形式存在。例如从物质状态上可以分气态,液态,固态,非晶态,玻璃态等.从材料的几何形态方面又可分快体材料和低维材料,即三维材料(块体材料)、二维材料(薄膜)、一维材料(纤维)、零维材料(纳米材料)薄膜材料在机械工业,电子工业,航天工业等许多领域都有着广泛的应用。