[金刚石膜的制备与应用研究]顾长志

【金刚石膜的制备与应用研究】顾长志.pdf研究负(十导)表春物理所 教授(孵院)北京大学 教授(博)中国科技大学 研究(博导)长春物理所 密级:内部 邹广田教授 日 金刚石膜的制备与应用研究 顾长志 导师:金曾孙教授 专业:凝聚态物理 论文答辩日期:1997.4录 3碳源气体浓度和配比对金刚石膜热导率的影响3金刚石膜内晶粒尺寸对其热导率的影响目 81金刚石膜的性质及应用领域 81金刚石膜的发展历史金刚石膜研究的近期进展论文题目的选择及主要研究内容 第二章金刚石膜的制备方法与生长特性HFCVD方法制备金刚石膜及其特性EACVD方法制备金刚石膜及其特性MWPCVD方法制备金刚石膜及其特性 第三章高导热金刚石膜的制备,83.吉林大学博士论文 金刚石具有许多优异的力学、电学、热学、声学和光学 等性质,在高技术领域具有十分广阔的应用前景,地球上目 前还很难找到一种集如此多优异性能于一身的材料。金刚石 1.在力学性能方面(表1),突出地表现在它的硬度是 所有物质中最高的,达到10000kg/mm2,可以制作切削互具和 耐磨部件1),在机械加互领域应用广泛.另外它具有很高的 杨氏模量和弹性模量,是制作表面压力传感器的理想材料2)金刚石的力学性质.10000kg/mm2 272kg/mm2 9×1013kg/mm2 1X1012Pa 107W/m 0 10.
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