[微波等离子体增强辉光放电与高功率微波诱导等离子体原子发射光谱法的研究]李一木

【微波等离子体增强辉光放电与高功率微波诱导等离子体原子发射光谱法的研究】李一木.pdf曾宪津研究 内部 吉林大学 答辩委员会主需汪尔康院士 论文评阅人方肇伦院士 密级 微波等离子体增强辉光放电与高功率微波诱导 等离子体原子发射光谱法的研究 StudiesonMicrowavePlasmaBoostedGlowDischargeandHigh poweredMicrowaveInducedPlasmaAtomicEmissionSpectrometry 李一木 金钦汉教授 分析化学 1997、12.提要 本项工作将Grimm型辉光放电灯与TMoio型微波谐振腔结合起来,制成了一种 文中重点对各种实验参数之间的关系进行了详细的研究,该光源的主要实验参 为阳极电压、工作气压和微波功率。实验中发现,电压及工作压强的匹配对这两种放 形式的耦合起很重要作用,低气压需对应较高的阳极电压,反之亦然。溅射率随微波 离子体的引人而降低,溅射痕也发生改变,当引人微波等离子体后,溅射痕变得平坦 显然此种状态更有利于作固体表面逐层分析.激发温度在两种放电最佳耦合状态下出 在对工作气体压强、阳极电压和微波功率等参数对发射强度和信背比关系的研 中发现,在较低气压下的最大信背比出现在较低微波功率处,而在较高工作气压条GD-MIP高功率MIP的研究 高功率N及N-Ar混合气体微波等离子体原子发射光谱法 氢化物发生法在原子光谱分析中的应用 吉林大学博士学位论文 工作气压、电流、电压、微波功率的关系 3Ar谱线的光谱特性 3阴极溅射元素的分析特性 1等离子体光源的发展与面临的课题 1中高功率微波等离子体的研究现状 1OkamotoCavity的结构与光谱分析特性 1.
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