【高分子取合物型湿度敏感材料及其元器件的设计与研究】邱法斌.pdf

专业:半导体材料邱法斌指导教师:孙良彦教授高分子聚合物型湿度敏感材料及其元器件的设计与研究

第1页吉林大学毕业论文文中介绍了利用高分子聚合物材料制作的三种类型的湿度敏感元即用以广泛湿度范围测试的(10 一100 RH)具有耐水性和抗干扰的高分子电阻式薄膜湿度传感器、用以监测和防止高湿状态的(94 00 RH)高分子电阻式厚膜结露型传感器,以及正在初步研究开发中月以特殊湿度范围控制的(60 一80 RH)石英振子型薄膜湿度传感器口对材料的选择,器件结构的设计以及具体的制作工艺作了一定的,从而为进一步开发出满足不同需要的、用以监测和控制不同湿文中还利用核磁共振、红外光谱、扫描电镜等现代分析测试手段合大量的实验事实,对各类元件的工作机理给予了分析和解释,这改进各类元件

第3页由于大气中的水蒸汽与空气本身相比,数量极其微少,特别难以集中地作用于湿敏功能材料表面,而且湿敏功能材料与水相互作用的物理过程和化学过程又是十分复杂的,因此湿度是极难测准的物理参数之一。尽管如此,长期以来人们经过努力还是积累了许多测量湿度的方法。毛发湿度计和干湿球湿度计是应用最早的测湿装置,它们都具有结构简单、使用方便和可以测量相对湿度等突出优点,所以一直延用至今:缺点是灵敏度和分辨率等都不够高,而且是非电信号的湿度测量,难以同电子电路或自动控制系统及仪器相连接,这就推动了以电信号指示湿度变化情况的各类测湿器件的开发和研究。