【微波等离子体化学气相沉积法制备高品质金刚石薄膜的研究】孟强.pdf
微波等离子体化学气相沉积法 制备高品质金刚石薄膜的研究 孟强 导师:金曾孙教授 顾长志副教授 专业:凝聚态物理 一九九六年六月
林人学硕上吨文 目录 提要 第一章绪论 第一节金刚石的性质及应用 第二节气相合成金刚石的历史发展及主要方法:第三节低压气相合成金刚石的生长机理 第四节论文的选题和主要研究内容.第二章微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜 第一节实验设备简介-第二节制备工艺 第三章MWPCVD沉积金刚石薄膜的成核密度研究:第一节表面研磨对成核密度的影响 第二节成核密度与甲烷浓度的关系 第三节温度对成核密度的影响:第四节原子氢刻蚀硅表面对成核密度的影响 第四章结晶与生长:第一节CVD金刚石颗粒的形貌 第二节甲烷浓度对结晶、生长的影响 第三节衬底温度对结晶和生长的影响 第四节金刚石薄膜的品
吉林大学硕士论文-“ 第一章绪论 第一节金刚石的性质及应用 金刚石是最昂贵的稀有矿物之一,同时它也是集多 种优异的物理化学性质于一身的极具科学价值的功能材 料:它是世界上已知材料中硬度最高的,可用来制作切削 加工的耐磨的工具:它具有高导热高绝缘性质,热导率是 固体物质中最优良的,大约为铜的5倍,电阻率大于1016 2:cm,因而可作为大规模集成电路和半导体激光器的热 沉材料以提高散热效率:它的透光性非常优良,除本征吸 收的一小带域外,在从紫外区的2250埃到红外区的25um 波长范围内都是光学透明的,用来制作高密度防腐蚀耐磨 光学窗口是其它材料所无法比拟的:金刚石具有宽的禁带 宽度(5.