[金刚石厚膜的制备及势导率性质的研究]王春蕾

【金刚石厚膜的制备及势导率性质的研究】王春蕾.pdf金刚石厚膜的制备 及热导率性质的研究 王春蕾 导师:金曾孙教授 专业:凝聚态物理 1993年6月7日提要 本文互作建立了高品质、高沉积速率的金刚石厚膜的 制备互艺,并系统研究了影响金刚石膜热导率的主要因素.主要五作包括采用EACVD方法以甲烷和氢气混合气体为原 料在单晶Si衬底上制备金刚石膜,对其成核特性、结晶 特性和生长特性进行实验研究.系统研究了影响金刚石膜 热导率的因素发现甲烷浓度、晶粒尺寸、膜厚及N杂质的 存在影响了金刚石膜热导率的大小,提高金刚石膜热导率 的途径是:消除晶界间石墨类物质的生成,降低金刚石膜 中N杂质和各种缺陷的含量,制备大晶粒、低晶界密度的 柱状生长金刚石厚膜。吉林大学硕士论文 5eV 225mm至远红外 101Q.cm 2200cm2/V 1600cm2/V 5 2*102cm/s 热沉、压敏传感器、介质材料、抗击穿材料、快速开关、能带间隙宽度 透光性 电阻率 电子迁移率 空穴迁移率 介电常数 饱和电子速度 低压气相生长金刚石膜,是在石墨相为稳态,金刚石 相为亚稳态区域中进行的,互艺要求严格。在金刚石亚 稳区中,含有碳源气体和氢气的混合气体通过热激发或电 磁激发会在基板上同时沉积出多种形式的固态碳,混合气 表1.天然金刚石主要物理性质 2 大功率晶体管、场效应管等等。
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