[超硬表面镀层的力学性能与微观组织结构的研究]王滨章

【超硬表面镀层的力学性能与微观组织结构的研究】王滨章.pdf吉林大学研究生毕业论文 提要 本文借助RAMAN、SEM、XRD、SCRATH、TEST、UMH TEST MICROHARDNESSTEST等一系列科技手段研究了硬质合金刀 具上的金刚石镀层及高速钢上氮化钛镀层的力学性能和微观 缺陷(位错),得到了一些结果,并提出一计算独硬镀层硬度 总 的经验互式。引言 .4 残余应力测量镀层与基体的附着性能,划痕试验测 量镀层与基体的结合力 S4 DIAMOND、TiN的硬度 第五章 DIAMOND镀层和TiN镀层的显微组织结 构及位错分析 .5 引言 S5 XRD分析 S 5 DIAMOND镀层的RAMAN散射分析及膜表 面形貌的SEM观察 5.吉林大学研究生毕业论文 在高速钢或硬质合金刀具、模具等互件上沉积的过渡族金属 碳化物和氮化物超硬镀层已经获得显著的实用效果。其中对 TiC和TiN研究得最充分,应用也最广泛。目前国内外已着 重于研究开发硬度最高的金刚石表面薄膜技术.金刚石镀层是利用H2+CH4作为源气体采用LPCVD技术沉 积的。国内外许多研究人员对金刚石镀层的生长机理及其它 性质方面做了很多互作。A.Joshi[6]等人在RFCVD和MPCVD沉 积金刚石过程中通入一定量的02,发现在450～1050℃范围 内生长的金刚石膜表面光洁度高,纯度高。
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