【用空气隙电容震动电流方法对敏感薄膜材料表面的研究】姚巍.pdf

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用空气隙电容振动电流方法对 敏感薄膜材料表面的研究 阔大卫教授 专业:半导体物理与器件 JILINUNIVERSITYMASTER DEGREE THESIS 姚巍 指导教师吉林大学硕士论文 提要 本文在研究敏感材料的过程中采用了一种新型的结构及研究 方法,即空气隙电容振动电流方法,通过这种方法我们实现了对数 感材料在敏感环境中表面带电状态变化情况的观测,测量得到的 结果为我们分析敏感材料的敏感过程提供了依据。用振动电流法 对Sn0表面的分析结果表明,在敏感气体的作用下,S0多晶气敏 尊膜表面的电荷变化和内部晶粒间界的电荷变化对气敏特性都有 贡献,而以后者的贡献为主。我们由两种湿敏材料的测量结果推 测,聚合物湿敏材料表面和内部对湿敏特性都有贡献,内部的贡 献可能更大,面PE0材料的感湿部分离表面较远,PEO材料吸水后 所生成的离子在排列上较聚合物材料表现出明显的无种敏感气氛中时,敏感气体分子和敏感材料作用的结果,会使材料 的电阻率等特性发生变化。这种变化的机理已被人们用多种方法 人们的生活和工农业生产,以及动植物的生长与生存,都与周 围环境的湿度有着密切的关系。对于人类的生存,环境的湿度具 有与温度同等重要的意义。气氛中水份舍量多少调节不好,会使 人感到不适乃至引起疾病.仓库内湿度控制不当,会使储存的粮贪 等物质腐烂变质.另外,湿度的监控在纺织工业,造纸印刷工程、国防军工、气象等方面也相当重要。为了控制或调整环境的湿度,必须对环境湿度进行检测和度量。