【金刚石附氢表面脱氢势垒的分子轨道方法研究】荣垂庆.pdf

提要本文用MNDO、MINDO/3和AM1半经验分子轨道方法,对金刚石附氢、和面的脱氢反应进行了系统研究,在与气相有机分子脱氢势垒的实验值和严格从头算值系统比较的基础上,首次定量给出了金刚石薄膜沉积中三个典型生长面的脱氢势垒,揭示了用半经验方法定量研究金刚石薄膜成核和生长机制的可能性。首次提出了该类反应的过渡态呈典型的三电子化学物理特征,经大量的计算论证了MNDO(UHF)是研究该类反应的可靠方法,该方法对金刚石附氢表面脱氢势垒的计算误差收敛在化学测量精度范围之内。

第之率含刚附氢、而的脱氢势垒 5)言令)附氢而的氢势垒 SS.了念刚)石摄而的胜氢势垒 5、4本童小结第六章含刚不附氢.的而氢势垒的比较及念月归薄膜成核的生长机制的讨论6.汀生长向胜衰势冬比获乐讨念刚方薄膜心核的生长机制的讨改 6.了平小结

展在:宏观性质尔认观原子分子过狼耐究。前者运用化些热力学.如学、相变理询苔,从统计的角度较好地对CVI)条下的宏观参数(诸如温度、化力甘)作件伴系,却你须依家后者提供信息。同时,也只有在厚了分子层次上学明减核了是长的化学物理,才能对该过腔作生令人满意的答案,为研制大面积高质是会刚不薄莫拦供具有较高斜学价值的理改参考信息.这一理论础宽的灵及间的不仅在于试图待释实验理象更孕在理上预言最传生长条体,从理论上为高层次实验的设计提供确凿依据.念刚石是主方品体结约,三个低拉数品而分别是明和而.