【离子溅射NiGu复合膜单轴拉伸过程中结构与性能研究】王波.pdf

题中文:离子溅射Ni/Cu复合膜单轴 拉伸过程中结构与性能研究 目英文:The Studies of Structure and Properties of lon Sputtered Ni/Cu Composite Film DuringUniaxial TensileDeformalion 专业:凝聚态物理 王波 导师:王煜明 教授 滕凤恩 教授 安正植 副教授 一九九四年六月
吉林大学辆士学位论文 本文通过对铜基镀镍膜的不同厚度样品经过不同的拉 变形后,进行了金相观察和X一ray衍射分析,探讨了复舍 薄膜在拉伸变形过程中的破坏情况,认为当薄膜随基底形变 时,先在薄膜上形成与拉伸方向成45°角的滑移带,而后沿 滑移带形成裂纹.另外,随着薄膜厚度的增加,薄膜与基体的协调变形性 变差,薄膜内的位错更难滑移,形变集中在个别点,因此更 容易产生裂纹破坏,由滑移带或裂纹组成的网格也更大.X一ray衍射分析还表明,膜厚较薄的薄膜内缺陷较多 较厚的膜则完整性较好。另外位错排列与拉伸及膜厚无关。
吉林大学硕士学位论文 型化以及个人电脑进入普及.各国对薄膜技术与材料的研究开发极为重视。我国在这 些领城内的工作也开展的十分活跃,正从研究走向产业部门.薄膜技术与薄膜材料属于边缘学科,它的应用也渗透到各个 学科及技术领域.未来的薄膜技术与薄膜材料将为人类创造更多的奇迹.预计将来的分子型电子器件是纳米级的,那时人们可以随身 携带世界范围联网的手持式个人电脑,而它的电能则来自以 薄膜技术制成的高效太阳能电池。未来的高温超导薄膜、光 学薄膜以及有机分子薄膜等也将取得令世人注目的成果.二:薄膜的研究:薄膜的研究首先是研究如何制作薄膜的这种特殊形态材 料开始的。 