【金刚石薄膜外延生长机制的动力学研究】刘波.pdf
密级:分类号 金刚石薄膜外延生长机制的 动力学研究 刘波 导师:潘守甫教授 专业:原子与分子物理 论文答辨日期:授予学位日期:答辩委员会主席:论文评阅人:19945月
目录 第一章绪论金刚石晶体及其薄膜生长的意义1 准稳态生长金刚石的早期研究1 近期低压生长金刚石晶体及其薄膜的实验回顾1 近期低压生长金刚石晶体及其薄膜的理论回顾 1 本课题的选择、目的和研究内容参考文献第二章 计算方法和原理2 从头计算法2 非相对论近似2 Born-Oppenheimer近似 轨道近似2 HF方程2.
表面缺陷对生长的影响7.