【直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的研究】高春晓.pdf

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密级:内部 分类号:0484 直流辉光等离子体化学气 相沉积金刚石薄膜的研究 高春晓 导师:邹广田教授 专业:凝聚态物理 论文答辨日期:授予学位日期:答辨委员会主席:论文评阅人:一九九四年六月第章绪论 1金刚石的结构及其性质,1低压金刚石合成的简单历史回顾 1金刚石薄膜的研究动向和进展,81论文互作的选题和主要研究内客实验设备简介:第二章直流辉光化学气相沉积金刚石的成核密度,2引言,14?成核密度与衬底材料和表面状态的关系:2成核密度与甲烷浓度的关系 2衬底温度对成核密度的影响 2提高金刚石成核密度的新方法,2小结,第章 金刚石薄膜在异质基上的成核机理 3过波层的X光电子能谱分析 3实歌电子他谱的测试结果与分析 3曼先谱的别业结果和分析 3.吉林大学博上论文 第一章绪论 81金刚石的结构及其性质 金刚石是地球上最硬的并具有多种优异性质的固体材料之一.它外表华丽、分布稀少,长期以来一直作为瑰宝供人们欣赏并成 为一种财富的象征。随着人类科学和技术的进步,对金刚石的结 构和优异性能的逐步认识在人们的眼前展现了另一幅优美的画卷 一金刚石的极为广泛的应用前景。今天,金刚石给人类带来的财 富已经远远超过了她的观赏价值。可以毫不夸张地说,金刚石的 应用量已经成为一个国家互业文明的重要标志.金刚石之所以具有诸多优异的物理性质,是由它的结构特性 所决定的。
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