【气相合成金刚石薄膜的研究】於三.pdf

分类号:0484 密级:内部气相合成金刚石薄膜的研究于三导师:邹广田教授专业:凝聚态物理论文答辨日期:1991年6月20日授予学位日期:1991年7月11日答辨委员会主席:张新夷研究员论文评阅人:未鹤孙教授,刘式墉教授 1991年5月10日

目录第一章绪论气相合成金刚石的历史发展低压气相合成金刚石的技术方法评述气相合成金刚石研究的发展概况.,1论文题目的选择及主要研究工作概况第二章金刚石薄膜的气相合成研究2气相合成金刚石的灯丝热解CVD设备及合成条件 2气相合成金刚石的成核特性2气相合成金刚石的结晶特性2金刚石薄膜的制备2金刚石薄膜与衬底间的过渡层性质,2高品质金刚石薄膜的制备及其基本性质表征 2小结.

吉林大学博士坨文第一章绪论引言金刚石以其完美与稀有一度被认为是上帝赐予的宝石,它作为权贵的象征自古以来受到人们的珍视.随着人类的进步与科学的发展,人们对于金刚石的物质态、材料性质及其科学价值的认识也在逐步地深入,早在 704年牛顿就已经提出金刚石是一种碳的单质的假设,随后人们进一步地认识到,金刚石是由四族元素碳组成的具有立方结构的晶体材料。金刚石的能带结构与通常的半导体材料相类似,由具有间接带隙的禁带分隔的导带、价带组成,由于金刚石的禁带宽度很大,因面通常条件下金刚石不导电,是良好的绝缘体。