【用热解CRD法制备的金刚石薄膜的结构特性】康翰卿.pdf

中文用热解CYD法知备的金网石薄膜的结特性外文业固体物理专者康翰卿作指导教师邹广田.金曾孙

第1页一.提要本文使用X光衍射电子衍射.扫描电镜.喇曼光谱及红外吸收光谱等乡析方法,研究了用热解CVD方法由甲烷及混合气体制备的外晶碳薄膜及金刚万薄膜的结特性。研究结果表明,金刚石薄膜为多晶立方结,它含有碳的外金刚石相及气杂质,杂质存走的形式是SP杂化的CH及CH,膜内存内应力,金刚石微晶具有择仇取向。

第3页在六.七+年代,用CVD方法制备金刚石的发尸是比较缓慢的,所用的衬底只限于金刚万晶种.社会生产的发尼,科学技术的进步以及新领的开发导致了薄膜材料的迅速发巴.与块状材料相比,薄膜材料具有一些独特的性质,薄膜材料日益广泛的应用解决了人们节省资源,节约能源,降低成本.防也污染等方面的要求。金刚石薄膜具有极高的顾度.化学稳定性.光学透明性.高电阳,高热导等仇自性能,受到各国的普遍重,制备金刚石薄膜.半导体金刚石薄膜成万人们一个努力方向,其中C四法是一种重要方法.87.