【半导体物理与器件】揣荣岩.pdf
沈阳工业大学研究生毕业论文题目名称 尿素酶场效应晶休管的研制 计:说明书 贝 毕业论文完成目期 年 月 H 毕业论文答辩委员会通过第 号 系主任 1988年七月 日
浦陽工業大学 研究生论文用纸 目录 生物埃效应晶体管的国内外动态 敏感膜的研究 T 12元件的微型化和集成多功能化 二酶坊效应晶体管的管芯设汁与制造 2差众对管结构ISFET的提击 2 ISFET 的设计 23参比管的栅区保护 2两种结构管芯的质量检验测试分析 三尿素坎效应晶仆管的敏感机理及敏感膜工艺16 3尿素酶巧效应管的敏感机理 3PH-ISFET的敏感机理 3.小2尿素酶固定化膜的工作原理 32尿素酶固定化膜工艺 四EFET的浏试实验及结果分析 五讨 5酶固定化膜其它形成方法的探索 5.
湘阳工茶大學 研究生论文用纸 一.生物酶效应晶体管的国内外动态 白七十年代第一只离子敏坊效应晶体管一ISFET 问世以表,已经得到迅发展,并形成了具有强大 生命力的边緣性学科。现这一领域不仅仅是為测量 离子活度,还用于测量与分析气体和各种化学物质,形成了化学筑均效应晶体管(CHEMFET),并且出现 备种生物传感器(bcoanr)的,ISTET文所以股发展到分 天的水平和生医学领的需要以及日臻完善和成 熟的半守体平面工艺是众了开的,同时离了择电 极的迅速发度巧JSFET打开了广泛应用的大门.目爾世界上所多国家的学青们正在這一域进 行着大量的非常活跃的研究工作,下面分网部分简 要介绍. 