【有机半导体LB膜气体传感器的设计及特性的研究】顾长志.pdf

题中文消机半导体LB膜气体传感器的设计(及特性的研究目外文 The design of gas sensor fabricated with LB organicsenicomeluctorfilmendthestuely ofsensitiveCharacteristic 业半导体材料专者顾长志作指导教师孙良彦教授

摘要本之叙述了以两种新型的有机半导体材料一CP和 C味衍生物的LB膜为敬感功能膜,將LB技术与传统电阻式和下ET式LB膜气体传感器,测试結果表明,电阻 B膜无件对的灵敏度高,造择生強,响应快,重复一致性好,功耗纵。加热器的设置提高了GuRLB膜的稳,定性,改善了充件的响应特性,C以啦B膜电阻式充件实现了常温z作,可检淡到n个Pm的MH3。C啡LB膜FET式元件可检测心个P的心.并具有较高的选择性和较好的稳定性,是一种具有更大实用价值的新型气体传感器,这种 LB-OSFET件的结特点证明了LB膜具有各间异性的特性.最后.我们对B膜的气敏特性作了理论上的初步摄讨。

2页 [B的成膜技术和裝置日超究善,众多各向异性,有,密集、无然陷无等度习可控的B膜相续问世,它的广泛应用潜力已经引起了人们的极太关注.其中最弓人注目的是上B膜在电子学上的应用,这欲潜!是由法国的户Baraud和英国的G.Robers首光意识到] 的90。目前,LB膜用作热释电器件,光电子器件,量子隧道效应器伴及各神敏感充件的研宽工作均有报导们一闻。总点 LB膜在集成电路工艺中具有巨大的应用巅景,它可以替我S可形我优质柳绝缘层,它还可以作为光刻掩膜,使光刻m的线宽式为可能,用上B术制作的分子导线将会使集成度大为提高,微型的光计算机将会问世[15]-{17]。