【表面覆SIO2FE2O3多层薄膜材料气敏效应研究】崔帅官.pdf
表面覆S膜S/e梦层薄膜 材料气敏效应研究 崔帅官 指导教师:康昌副教授 大卫副教授 专业:半导体物理与半导体四件物理
致谢 参考文南 痛要.文要旨
一、.前言 气体传感皿和离子传感巴.生物传感四 一起构成化学传感四的主体。到目前为止应 小不同材料,究开发了许多种气体传感四.体传感卫主要组成部分的敏感材料当中 当一部分是半导体材料”而且半导体料料中 日当一部分是属于金属氧<化物材料。比如S0 n0.Cao.T0.VOr.Fe等n型金属氧<化物2) 其中S半导体材料的应用很广泛 在三中年代,就已经发现金属氧(化物具首气 效应,即金屈氧化物半导体材料接触气体时 电导率随气体种类友其浓度的不同而发生 化但应用氧(化物平导体S制备气敏卫.一直到六十年代初才发展起来。[wshop_paid show_buy_btn="true"]