[表面覆SIO2FE2O3多层薄膜材料气敏效应研究]崔帅官

【表面覆SIO2FE2O3多层薄膜材料气敏效应研究】崔帅官.pdf表面覆S膜S/e梦层薄膜 材料气敏效应研究 崔帅官 指导教师:康昌副教授 大卫副教授 专业:半导体物理与半导体四件物理致谢 参考文南 痛要.文要旨一、.前言 气体传感皿和离子传感巴.生物传感四 一起构成化学传感四的主体。到目前为止应 小不同材料,究开发了许多种气体传感四.体传感卫主要组成部分的敏感材料当中 当一部分是半导体材料”而且半导体料料中 日当一部分是属于金属氧
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