【化学沉积法制备的Schottky势垒的研究与应用】石瑞英.pdf

第弘页题归:化学沉积法制格Scho性bey势垒的研究与应用业:半等体物理与器件物理石瑞英指导教师:胡德宝付教授中与本学院论文理派

第1页摘要本文用化学沉积传别备出了Pad一GaAs.Au一GaAs.Pa一GaP、Pd一GaAso.u1Posg/GaPSchottky 极管.对化学沉积的机理进行了分析;在对所别备流件进行了 C-V 和 1 —V特分析。利用所制备的 Schattky 势垒刚量了上述事导体材料的室盈和80K温下的Schottky势垒电反特语,确定了Brilouin巨内临界点好带航量,加宽多量以及带腐就量好温度系数。所别备的 Schoty二极骨都具胃良好的开灵特照。特别是,突验中发现,Pd一GaP Sohot所结构是有优越的稳代>极骨的性航。本丈列筝了开英和稳化特收参量的刚试结果。

第3页作用!发现在沉积全属前,光将事导伴材料放进Pa生水液中活化若干秒可以改善金属在中导体表面上的附着,对改C后化机理和化学沉按在GaAs上积Pa制劣了Pd-GaAsSchotky=极号最近,又用c学沉积法把Au/P和A/s/P膀沉积到？Schottk牛二极骨也手以用于电反射谱剛量.电反射诺是调制光谱的一个分支。调别光谱是从方十年代开姑迅连发展起来的一门技术,自 1964年B.Seraphin首先把它种技术应用了事导伴的研完以丰,元设在班设上远是在实路上都 [2),22] 晶体均匀性[23] 林烈完整性,表面和界面性预学等山孤宽中也没到了于泛的应用。