【热阴极辉光放电及其热阴极辉光放电金刚石膜研究】白亦真.pdf
分类号:0484 密级:内部 热阴极辉光放电及其等离子体化学气相沉积 金刚石膜研究 Studyofhot cathode glow discharge and itsplasma chemicalvapordepositionofdiamondfilms 白亦真 指导教师:金曾孙教授 吉林大学 专 业:凝聚态物理 论文答辩日期:2001年八月29日 授予学位日期:2001年/2月3/日 答辩委员会主席:家骐、宪员 论文评阅人:明 孝授 陈光华 教 2001年11月
目录 第一章绪论 51金刚石膜的性质及应用前景 51化学气相沉积金刚石膜的发展历史回顾直流辉光放电等离子体化学气相沉积制备 金刚石膜的发展状况 1论文的选题和主要内容 第二章热阴极 2金属热阴极的热电子发射 2实用金属热阴极的选择2钼阴极的性质及其在PCVD气氛中的反应2阴极的工作温度2热阴极其它一些因素对辉光放电的影响 2本章小结 *第三章热阴极直流辉光放电阴极位降区3引言3热阴极辉光放电的组成区域和基本特征 3热阴极辉光放电阴极区的基本规律 3本章小结
吉林大学博士论文 第一章绪论 1金刚石膜的性质及应用前景 早在1772年Lavoisierl和Tennant2确定了金刚石是化学元素 碳的一种结晶形态。由原子结构理论可以知道,碳原子的基态电 子层结构是1s²2s²2p²。当碳原子对外发生作用时,往往要发生一个2s电子激发到2p态的情形,这时碳原子的电子层结构可变为 1s²2s2px2py2pz。而当碳原子构成金刚石时,碳原子的2s,2px,2py,2pz四个轨道将形成四个sp²杂化轨道,它们的对称轴指向四 面体的四个角。每个碳原子用这种杂化轨道与相邻的四个碳原子 形成的共价键是饱和键,键长均为1.