【软x射线宽带多层膜反射镜的研制及检测】柯常军.pdf

摘要随着软X射线光学的发展,多层膜反射镜显得尤为重要。它是软X射线显微术、软X射线投影光刻的关键元件,另外在软X射线激光、高温等离子体诊断、同步辐射等方面都有着广泛的应用。以往研制的周期多层膜反射镜具有反射率峰值高、带宽窄的特点。随着应用的逐步深入,人们对改变现有周期多层膜的兴趣越来越大。对于使用发射光谱带较宽的光源和较少镜面的光学系统,对系统性能起决定作用的参数不再是某特定波长的峰值反射率,而是在某一波段内的积分反射率(光通量)。对不吸收物质,可以通过将若干窄带膜系叠加起来,或者通过有规律地变化多层膜的周期厚度,来获得较大带宽的多层膜反射镜。

目录第一章引言第二章软X射线多层膜的基本理论 2软X射线多层膜材料的光学常数2 软X射线在理想多层膜中的反射2 软X射线在非理想多层膜中的反射,2 软X射线多层膜的选材原则第三章软X射线宽带多层膜的设计3 软X射线周期多层膜设计的改进 3 软X射线宽带多层膜的设计3用于提高光通量的软X射线非周期多层膜的设计3宽带平坦型软X射线多层膜的设计,第四章软X射线宽带多层膜的性能模拟计算4多层膜反射率随入射角的变化4.

吉林工业大学硕士研究生毕业论文的反射率2)。1981年,Barbee和Spiller等人发展并完善了多层膜的制备技术 [β3-4]。同年,Underwood和Barbee首次成功地使用多层膜反射镜进行了软X身.线成像实验,标志着软X射线多层膜开始跨入应用阶段.八千年代以来,世界许多国家的研究小组相继开展软X射线多层膜的研究。人们在理论、制备方法、制备工艺及检测手段等均做了深入细致的研究.在众多科学家的共同努力下,软X射线多层膜技术发展十分迅速。这里仅举几例:1989年,Spiller等研制的多层膜反射镜在4nm、6nm、11.