【集成光路器件测试系统的研究】任壮.pdf

集成光路器伴测試系统的研究摘要集成光学技术是主新型光信息2具研究的措导学种.新型光信息2只有二宁突出特点、第一,好光飘号取代电飘号完成信息的是存、传输、处理和录。由于光波长比电波长短口倍;因而这种信息可使违度和容易增大.10.倍;第二,它以集成光路器伴取代各种光学信息2具的光路系统,周而使光信息2具体积和重男减少10.100倍.集成光路器件是已经开发应用的光技术的关键部伴.也是一种高知识密要的种研产品而光波导是联接集成光路中各种器伴的基本元伴.

到最佳事遇合,使观察到的输出功率为最 Ln(R/eE 其中R和口是两不同长度名和上波导的传输功率,站方法需要破坏样品。目前國内外一般都柔用样品截断法.3.最近中种院上海冶金研究所研制了一种新型的光传输损耗測拔术。即利用选行扫描方法素检測不用长被样品信号的变化。它可心解决周光源聚焦的困难而造成很大一部分光将透过衬底进入接牧器引入的測男误差较大的向题,該方法只需将扫描信号选在波导信号最强点上測出信号的变化情况,而显可以借助瞬态波形存是仪和記录仪方便地录下隶传输损耗的分布.站方法景具有测男建秽快.准确性高的优点,但它仍必破坏样品这对測男一了好的器件是难以接受的。

输出.别外本文还论迷了与测诚系统有美的光盘盘控制电路的设计。涉进电动控制电路设计,与计称机的授口设计,其他同富的种研人员帮助与支持下,我们研制了这汹试系,从侧试原理如实测过程中可以希则该东统是可行的,在此苍础上我们可以进一步研设计集成光路器件综合测试仪器,为集成光学的研究陆出贡献,